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Tungsten(VI) chloride
氯化钨 | 六氯化钨
产品编号: SD-T819056 CAS 号: 13283-01-7 纯度: 99.9+% metals basis;蓝紫色结晶粉末,对湿气敏感,空气中易氧化,遇水剧烈水解。WCl₆作为气相沉积和原子层沉积的前驱体,反应活性较弱,对电介质层蚀刻的损伤小,升华温度200 °C,其高挥发性保证薄膜的均匀沉积。兼具烯烃复分解催化的高活性和高选择性。【研究与应用方向】:无氟钨薄膜气相沉积,半导体 CVD/ALD 制备钨及钨化合物薄膜,催化与有机合成,制取单晶钨丝、玻璃表面导电层,烯烃聚合催化剂。
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